特許
J-GLOBAL ID：200903090371754207

ムラ検査装置およびムラ検査方法

発明者：
上田 邦夫

上田 邦夫 について

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吉原 一博

吉原 一博 について

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谷口 和隆

谷口 和隆 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 松阪 正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-111561
公開番号（公開出願番号）：特開2006-292487
出願日： 2005年04月08日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：
【課題】ムラ検査装置において光学フィルタの透過波長帯を精度良く調整する。【解決手段】ムラ検査装置1は、基板9を保持するステージ2、基板9の膜92に向けて線状光を出射する光出射部3、基板9からの反射光を受光する受光部4、受光部4にて受光される光の波長帯を切り替える波長帯切替機構5、ステージ2を移動する移動機構21、および、受光した光の強度分布に基づいて膜厚ムラを検査する検査部7を備える。波長帯切替機構5は、複数の光学フィルタ51、および、各光学フィルタ51の傾きを変更するフィルタチルト機構を備える。ムラ検査装置1では、フィルタチルト機構により選択光学フィルタ51aの光路に対する傾きを変更することにより、選択光学フィルタ51aの透過波長帯を精度良く調整することができる。その結果、選択波長帯を膜92の特性に合わせて調整することにより、膜厚ムラをの検出精度を向上することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に形成された膜の膜厚ムラを検査するムラ検査装置であって、 主面上に光透過性の膜が形成されている基板を保持する保持部と、 前記膜に向けて前記主面に沿う所定の方向に伸びる線状光を出射する光出射部と、 前記膜にて反射された、または、前記膜を透過した後の光を受光して前記主面上の前記所定の方向に伸びる線状の照射領域からの光の強度分布を取得するセンサと、 前記光出射部から前記センサに至る光路上に配置されるとともに特定の波長帯の光を透過する光学フィルタと、 前記光学フィルタの前記光路に対する傾きを変更するフィルタチルト機構と、 前記主面に沿うとともに前記所定の方向に垂直な移動方向に前記保持部を前記光出射部、前記センサおよび前記光学フィルタに対して相対的に移動する移動機構と、 を備えることを特徴とするムラ検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/06 ,  G01N 21/956 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01B11/06 Z ,  G01N21/956 A ,  H01L21/66 P
Fターム (38件)：
2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB17 ,  2F065BB22 ,  2F065CC31 ,  2F065FF51 ,  2F065GG02 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL22 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ29 ,  2G051AA42 ,  2G051AA51 ,  2G051AB20 ,  2G051BA20 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051CC15 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  4M106AA01 ,  4M106AA20 ,  4M106BA04 ,  4M106BA20 ,  4M106CA48 ,  4M106DB02 ,  4M106DB15 ,  4M106DB30 ,  4M106DH03 ,  4M106DH12 ,  4M106DH31
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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