反射防止機能素子、光学素子、光学系および光学機器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岸田正行 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-380709
公開番号（公開出願番号）：特開2002-182003
出願日： 2000年12月14日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【課題】微細周期構造により優れた反射防止機能を有するとともに、微細周期構造の耐久性を併せ持つ反射防止機能素子が望まれている。【解決手段】基材3の表面に入射光の波長より小さい周期の周期構造2を設けるとともに、その周期構造上に、基材の屈折率より小さい屈折率を持つ付加層4を設けて反射防止機能素子を構成する。また、付加層4にも、入射光の波長より小さい周期の周期構造を持たせる。

請求項（抜粋）：

基材の表面に入射光の波長より小さい周期の周期構造を有するとともに、前記周期構造上に付加された、前記基材の屈折率より小さい屈折率を持つ付加層を有することを特徴とする反射防止機能素子。

IPC (2件)：

G02B 1/11 , B81B 1/00

FI (2件)：

B81B 1/00 , G02B 1/10 A

Fターム (5件)：

2K009AA04 , 2K009BB14 , 2K009CC06 , 2K009DD11 , 2K009DD12

引用特許：

審査官引用 (7件)

反射防止膜およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-108235 出願人：旭硝子株式会社
光学部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-270062 出願人：株式会社ニコン
特開平3-150501

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