特許
J-GLOBAL ID:200903090635505367
金属コロイドパターンの形成方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
目次 誠
, 宮▼崎▲ 主税
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-176644
公開番号(公開出願番号):特開2004-018962
出願日: 2002年06月18日
公開日(公表日): 2004年01月22日
要約:
【課題】耐熱性に優れた金属コロイドパターンを良好な付着強度で簡易に形成する。【解決手段】基板1上に金属コロイドパターン5を形成する方法であり、有機溶剤に可溶なポリシラン及び有機溶剤を含む感光性樹脂組成物を基板1上に塗布して感光層2を形成し、感光層2を選択的に露光して、パターンの潜像部2aを形成し、感光層2に金属コロイド含有液を接触させ、露光部2aに金属コロイドを吸着させて、金属コロイドのパターン5を形成することを特徴としている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基板上に金属コロイドパターンを形成する方法であって、
有機溶剤に可溶なポリシラン及び有機溶剤を含む感光性樹脂組成物を基板上に塗布して感光層を形成する工程と、
前記感光層を選択的に露光して、パターンの潜像を形成する工程と、
前記感光層に金属コロイド含有液を接触させ、露光部に金属コロイドを吸着させて金属コロイドのパターンを形成する工程とを備えることを特徴とする金属コロイドパターンの形成方法。
IPC (4件):
C23C18/30
, C03C17/06
, G02B5/20
, G03F7/40
FI (4件):
C23C18/30
, C03C17/06 Z
, G02B5/20 101
, G03F7/40 521
Fターム (34件):
2H048BA45
, 2H048BA47
, 2H048BA48
, 2H048BB02
, 2H096AA27
, 2H096AA28
, 2H096AA30
, 2H096BA01
, 2H096EA02
, 2H096HA09
, 2H096LA30
, 4G059AA08
, 4G059AB01
, 4G059AB06
, 4G059AB07
, 4G059AB09
, 4G059AB11
, 4G059AC07
, 4G059AC08
, 4G059DA01
, 4G059DB09
, 4K022AA03
, 4K022AA04
, 4K022AA05
, 4K022AA41
, 4K022AA42
, 4K022AA43
, 4K022BA08
, 4K022BA35
, 4K022CA06
, 4K022CA19
, 4K022CA20
, 4K022CA21
, 4K022DA01
引用特許:
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