プラズマ誘導マイクロ波エネルギーによってプラズマを発生するための装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-521819
公開番号（公開出願番号）：特表平10-512391
出願日： 1996年01月11日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：

【要約】気体状物質の混合物を包含する空間(2)内にプラズマ(10)を発生させるための装置及び方法。プラズマを発生させるために、本発明の一部をなす、少くとも一つの広範囲アプリケータ(1)を使用する。少くとも一つのマイクロ波発生器(5)が、適当な導波管(20)及びカップラ(22)によってマイクロ波エネルギーをアプリケータ内へ導入する。

請求項（抜粋）：

反応容器内に少くとも部分的に電離したガスを有する、マイクロ波によって制御されたプラズマを発生させるための装置において、マイクロ波エネルギー供給源に接続した中空導体の形式のアプリケータを設け、該マイクロ波エネルギー供給源において、該アプリケータの前記電離したガスに接触する領域にある部分が除去され、該除去された部分がマイクロ波透過性材料によって占められ、それにより、前記制御されたプラズマが形成されると、プラズマは、前記アプリケータから発出されるマイクロ波エネルギーの少くとも一部を、該アプリケータの前記除去された部分へ反射することを特徴とする、マイクロ波によって制御されたプラズマを発生させるための装置。

IPC (7件)：

H05H 1/46 , C23C 14/54 , C23C 14/56 , C23C 16/50 , C23F 4/00 , H01L 21/3065 , H01L 21/31

FI (7件)：

H05H 1/46 B , C23C 14/54 B , C23C 14/56 H , C23C 16/50 , C23F 4/00 A , H01L 21/31 C , H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平1-100896
マイクロ波プラズマ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-321424 出願人：住友金属工業株式会社
特開昭60-043902

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