特許
J-GLOBAL ID：200903090882671997

光学素子及び露光装置

発明者：
國分 崇生

國分 崇生 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-215089
公開番号（公開出願番号）：特開2005-268741
出願日： 2004年07月23日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
【課題】 液浸法を適用した場合に、投影光学系の先端部が液体によって浸食されない光学素子を提供する。【解決手段】 露光ビームILでマスクRを照明し、投影光学系PLを介して前記マスクRのパターンを基板W上に転写し、前記基板Wの表面と前記投影光学系PLとの間に所定の液体7を介在させた露光装置に使用される光学素子であって、前記投影光学系PLの前記基板側の透過光学素子4の表面に前記液体7への溶解を防止するための金属製溶解防止膜が成膜されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
露光ビームでマスクを照明し、投影光学系を介して前記マスクのパターンを基板上に転写し、前記基板の表面と前記投影光学系との間に所定の液体を介在させた露光装置に使用される光学素子であって、 前記投影光学系の前記基板側の透過光学素子の表面に前記液体への溶解を防止するための金属製溶解防止膜が成膜されていることを特徴とする光学素子。
IPC (2件)：
H01L21/027 ,  G03F7/20
FI (3件)：
H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 514E
Fターム (3件)：
5F046AA28 ,  5F046CB01 ,  5F046CB24
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 液浸型露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-121757   出願人：株式会社ニコン
審査官引用 (4件)
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