基板保持方法,基板保持装置及び基板処理方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金本哲男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-332288
公開番号（公開出願番号）：特開平11-150176
出願日： 1997年11月18日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】【課題】基板の裏面に吸着手段の転写跡を残さず基板を保持できる基板保持方法を提供する。【解決手段】 LCD基板Gの裏面を載置台34の上面に装着された吸着部材35a〜35hによって吸着し,LCD基板Gを載置台34に保持させる。これら吸着手段35a〜35hの吸着動作を,LCD基板Gの中心を挟んで対向する,吸着部材35a,35e,吸着部材35b,35f,吸着部材35c,35g,吸着部材35d,35h毎に作動又は停止させ,さらに時計回りにLCD基板Gの周縁部に沿って順次移行させる。吸着部材35a〜35hの吸着時間は,LCD基板Gに対する処理を施す時間より短くなるように設定されている。

請求項（抜粋）：

基板載置部の上面に設けた複数の吸着手段によって基板を吸着して保持する方法において,基板を保持している間,吸着動作を行う吸着手段を順次移行させることを特徴とする,基板保持方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/08 , B25J 15/06

FI (3件)：

H01L 21/68 P , B23Q 3/08 A , B25J 15/06 B

引用特許：

出願人引用 (14件)

特開平4-280619
特開昭57-178341
特開昭60-032324

全件表示

審査官引用 (11件)

特開平4-280619
特開平4-280619
特開昭57-178341

全件表示

前のページに戻る