特許
J-GLOBAL ID：200903091108195151

基板検査装置および基板検査方法

発明者：
山下 宗寛

山下 宗寛 について


出願人/特許権者：
日本電産リード株式会社

日本電産リード株式会社 について


代理人 (1件)： 古谷 栄男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-046127
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239372
出願日： 1997年02月28日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】【課題】 高密度で配線された基板にも適用することができる安価で信頼性が高く、検査時間の短い基板検査装置および基板検査方法を提供する。【解決手段】 スイッチ部SW1には、信号源46から一定電圧Eが与えられている。コンピュータ44は、スイッチ部SW2をONとし、つぎにスイッチ部SW1をONとする。これにより、等価回路が閉じて電流iが流れ、アンプ74への入力電圧Vxが生ずる。電圧Vxは、アンプ74により増幅されたのち、ピークホールド回路76により、その最大値が検出され保持される。コンピュータ44は、当該最大値に基づいて、基板32のプリントパターンの導通状態を判定する。アンプ74への入力電圧Vxは、ほぼ、スイッチ部SW1がONとなると同時に、最大の電圧を示す。したがって、最大値検出処理を極く短時間で終了することができる。このため、プリントパターンの導通状態の判定処理を、極めて短い時間で行なうことが可能となる。
請求項（抜粋）：
基板に形成された配線の検査を行なう基板検査装置であって、前記配線の一端と接続または結合される第1の端子と、前記配線の他端と結合される第2の端子と、を備え、第1の端子または第2の端子のいずれかに所定の信号を与えた場合に第1の端子と第2の端子との間に生ずる電圧に基づいて、前記配線の導通状態を検出する基板検査装置において、前記所定の信号を、急激な変化を有する信号としたこと、を特徴とする基板検査装置。
引用特許：
審査官引用 (4件)
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