電子ビーム露光装置、電子ビーム成形部材及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：龍華明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-021490
公開番号（公開出願番号）：特開2002-231602
出願日： 2001年01月30日
公開日（公表日）： 2002年08月16日
要約：

【要約】【課題】複数の電子ビームを所望の形状に成形するのに好適な電子ビーム成形部材および当該電子ビーム成形部材を備えた電子ビーム露光装置を提供する。【解決手段】基材206と、基材206に固定され、電子ビームを成形する成形開口部204を有するマスク部材202と、基材206に設けられ、成形開口部204を通過した電子ビームが通過する通過開口部208とを備えたことを特徴とする成形部材22。マスク部材202は、通過開口部208に填め込まれるのが好ましい。

請求項（抜粋）：

電子ビームの断面形状を所望の形状に成形する成形部材であって、基材と、前記基材に固定され、前記電子ビームを成形する成形開口部を有するマスク部材と、前記基材に設けられ、前記成形開口部を通過した前記電子ビームが通過する通過開口部とを備えたことを特徴とする成形部材。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 504 , H01J 9/14 , H01J 37/09 , H01J 37/305

FI (6件)：

G03F 7/20 504 , H01J 9/14 A , H01J 37/09 A , H01J 37/305 B , H01L 21/30 541 Q , H01L 21/30 541 S

Fターム (11件)：

2H097AA03 , 2H097CA16 , 2H097LA10 , 5C033BB02 , 5C033BB08 , 5C034BB01 , 5C034BB02 , 5C034BB05 , 5F056AA04 , 5F056AA06 , 5F056CB07

引用特許：

審査官引用 (5件)

アパーチャ絞り、その製造方法、及びこれを用いた荷電ビーム描画装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-073398 出願人：株式会社東芝
荷電粒子線露光装置用マスク,アライメント方法および荷電粒子線露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-196699 出願人：株式会社ニコン
特開昭62-270959

全件表示

前のページに戻る