特許
J-GLOBAL ID：200903091181161303
形状可変ミラー
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 俊則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-133800
公開番号（公開出願番号）：特開2007-304411
出願日： 2006年05月12日
公開日（公表日）： 2007年11月22日
要約：
【課題】安価に作製することができ、低電圧駆動が可能であり、精度の高い収差補正が可能である形状可変ミラーを提供する。【解決手段】(a)活性層15とハンドル層13の間にBOX層14が挟まれたSOI基板12と、(b)SOI基板12の活性層15上に形成された第1の電極16,17と、(c)第1の電極16,17上に形成され、圧電性を有するペロブスカイト構造の圧電膜18と、(d)圧電膜18上に形成された第2の電極22,24,26と、(e)第1の電極と第2の電極の少なくとも一方に含まれる複数の個別電極22,24,26に対応して、SOI基板12のハンドル層13側からBOX層14又は活性層15に達するまで除去して形成された凹部11と、(f)凹部11に露出したBOX層14又は活性層15上に形成されたミラー面11xとを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
活性層とハンドル層の間にBOX層が挟まれたSOI基板と、
前記SOI基板の活性層上に形成された第1の電極と、
前記第1の電極上に形成され、圧電性を有するペロブスカイト構造の圧電膜と、
前記圧電膜上に形成された第2の電極と、
前記SOI基板の前記ハンドル層を前記BOX層に達するまで除去して、又は前記SOI基板の前記ハンドル層及び前記BOX層を前記活性層に達するまで除去して、形成された凹部と、
前記凹部に露出した前記BOX層又は前記活性層上に形成されたミラー面と、
を備え、
前記第1の電極と前記第2の電極の少なくとも一方は、互いに間隔を設けて配置された複数の個別電極を含み、
前記凹部は、前記複数の個別電極に対応して形成されたことを特徴とする、形状可変ミラー。
IPC (4件)：
G02B 5/10
, G02B 5/08
, G02B 26/08
, B81B 3/00
G02B5/10 B
, G02B5/10 C
, G02B5/08 A
, G02B26/08 E
, G02B26/08 J
, B81B3/00
2H041AA14
, 2H041AB14
, 2H041AB38
, 2H041AC08
, 2H041AZ08
, 2H042DA06
, 2H042DA12
, 2H042DA21
, 2H042DC02
, 2H042DD05
, 2H042DD13
, 2H042DE07
出願人引用 (1件)
-
形状可変ミラー素子
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-182646
出願人：松下電器産業株式会社
審査官引用 (5件)
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引用文献：
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