特許
J-GLOBAL ID：200903091188695320
塗布装置および塗布方法、ならびにカラーフィルター製造装置および製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-293654
公開番号（公開出願番号）：特開2002-102771
出願日： 2000年09月27日
公開日（公表日）： 2002年04月09日
要約：
【要約】【課題】1台のダイで間欠的に基板を処理する構成のダイコータを用いて、装置・人的コストを増大させずに、1枚の基板の処理に要する時間(タクトタイム)を大幅に短縮する塗布装置および塗布方法、ならびにカラーフィルターの製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】塗布液を吐出する吐出口を有する塗布器をテーブル上に保持された基板の塗布位置に移動させながら、該塗布器から塗布液を吐出することにより、基板表面に塗膜を形成する塗布方法において、前記テーブルは複数の基板を相重ならずに保持できるものであり、該テーブル上の任意の基板保持位置に載置された基板に塗膜を形成する間に、他の基板保持位置では基板の排出および/または基板の載置を行うことを特徴とする塗布方法。
請求項（抜粋）：
複数の基板を相重ならないように保持する基板保持位置を有するテーブルと、前記基板表面に塗布液を吐出する吐出口を有する塗布器と、前記吐出口を清掃する吐出口清掃装置と、前記塗布器に塗布液を供給する塗布液供給機構と、前記塗布器を基板保持位置に保持した基板の塗布位置に移動させる移動手段と、前記テーブル上に基板を載置する基板載置手段と、前記テーブル上から基板を排出する基板排出手段と、任意の基板保持位置に載置された基板に前記塗布器から塗布液を吐出する間に他の基板保持位置へ基板を載置および/または排出させる制御手段とが、設けられたことを特徴とする塗布装置。
IPC (4件)：
B05C 5/02
, B05C 13/02
, B05D 1/26
, G02B 5/20 101
B05C 5/02
, B05C 13/02
, B05D 1/26 Z
, G02B 5/20 101
2H048BA43
, 2H048BA45
, 2H048BB02
, 2H048BB42
, 4D075AC02
, 4D075AC73
, 4D075AC78
, 4D075AC86
, 4D075AC88
, 4D075CA47
, 4D075DA06
, 4D075DB07
, 4D075DB13
, 4D075DB14
, 4D075DC24
, 4D075EA45
, 4D075EB39
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA05
, 4F041BA13
, 4F041BA22
, 4F041BA60
, 4F042AA06
, 4F042BA08
, 4F042DF15
, 4F042DF28
, 4F042DF29
, 4F042ED03
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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