特許
J-GLOBAL ID：200903091189298030
電子線源およびX線源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-412427
公開番号（公開出願番号）：特開2005-174715
出願日： 2003年12月10日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：
【目的】 ナノシリコン面電子源のように高輝度且つ長寿命であり、点電子線源のように電子を集束して放射することが可能であり、しかも安価で且つ取扱いの容易な、電子線源およびX線源を提供する。【構成】 高エネルギー垂直面電子源(2)と、高エネルギー垂直面電子源(2)から放射された電子を加速させ集束させる加速集束電極(3,4)とを備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
高エネルギー垂直面電子源と、高エネルギー垂直面電子源から放射された電子を加速し集束する加速集束電極とを備えたことを特徴とする電子線源。
IPC (6件)：
H01J37/06
, G21K1/00
, G21K1/02
, G21K1/087
, H01J35/06
, H01J35/14
H01J37/06 A
, H01J37/06 Z
, G21K1/00 E
, G21K1/02 R
, G21K1/087 F
, H01J35/06 B
, H01J35/14
5C030BB02
, 5C030BB03
, 5C030BB09
, 5C030BB17
出願人引用 (2件)
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走査電子顕微鏡及び試料撮影方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-100042
出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
-
電界放射型電子源
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-272342
出願人：松下電工株式会社
審査官引用 (6件)
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