特許
J-GLOBAL ID:200903091322010568
半導体用樹脂ペースト及び半導体装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-324933
公開番号(公開出願番号):特開2004-155982
出願日: 2002年11月08日
公開日(公表日): 2004年06月03日
要約:
【課題】短時間硬化が可能で、熱時接着強度が高く、熱時低弾性率に優れた特性を有し、かつイオン性不純物が少ない半導体用樹脂ペーストを提供すること。【解決手段】(A)全エポキシ樹脂中に、加水分解性塩素含有量1000ppm以下の一般式(1)で示されるエポキシ樹脂を5重量%以上含むエポキシ樹脂、(B)融点100°C以上のイミダゾール化合物と(C)活性水素基を1分子当り2個以上有するフェノール樹脂を含む硬化剤及び(D)フィラーを必須成分とし、かつ(B)/(C)(エポキシ樹脂100重量部に対する重量比)=(0.1〜20)/(0.5〜50)であることを特徴とする半導体用樹脂ペースト。【化1】(R1は水素原子、又は炭素数1〜6のアルキル基であり、同一でも異なっていてもよい。nは平均値で0〜3の正数。)
請求項(抜粋):
(A)全エポキシ樹脂中に、加水分解性塩素含有量1000ppm以下の一般式(1)で示されるエポキシ樹脂を5重量%以上含むエポキシ樹脂、(B)融点100°C以上のイミダゾール化合物と(C)活性水素基を1分子当り2個以上有するフェノール樹脂を含む硬化剤及び(D)フィラーを必須成分とし、かつ(B)/(C)(エポキシ樹脂100重量部に対する重量比)=(0.1〜20)/(0.5〜50)であることを特徴とする半導体用樹脂ペースト。
IPC (5件):
C08G59/62
, C09J11/00
, C09J163/00
, C09J163/02
, H01L21/52
FI (5件):
C08G59/62
, C09J11/00
, C09J163/00
, C09J163/02
, H01L21/52 E
Fターム (26件):
4J036AB01
, 4J036AB02
, 4J036AB03
, 4J036AB07
, 4J036AB09
, 4J036DC40
, 4J036FA02
, 4J036FA06
, 4J036FB02
, 4J036FB03
, 4J036FB07
, 4J036FB09
, 4J036JA06
, 4J040EB032
, 4J040EC001
, 4J040EC061
, 4J040HC24
, 4J040JA05
, 4J040KA16
, 4J040KA42
, 4J040MA02
, 4J040NA20
, 4J040PA24
, 5F047BA21
, 5F047BA34
, 5F047BA35
引用特許:
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