インプリント加工用スタンパーおよびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：鈴江武彦 , 河野哲 , 中村誠 , 蔵田昌俊 , 峰隆司 , 福原淑弘 , 村松貞男 , 橋本良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-204958
公開番号（公開出願番号）：特開2006-032423
出願日： 2004年07月12日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：

【課題】プレス加工による正常なパターンの転写が可能なインプリント加工用スタンパーを提供する。【解決手段】表面に凹凸パターンを有する金属製のスタンパー本体と、スタンパー本体の表面に形成された、無機カーボンを10%以上含む膜とを具備したインプリント加工用スタンパー。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

表面に凹凸パターンを有する金属製のスタンパー本体と、前記スタンパー本体の表面に形成された、無機カーボンを10%以上含む膜とを具備したことを特徴とするインプリント加工用スタンパー。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20

FI (2件)：

H01L21/30 502D , G03F7/20 501

Fターム (2件)：

2H097AA20 , 5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (2件)

米国特許第5,772,905号明細書
モールド、モールドの製造方法及びパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-065062 出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (20件)

特開平3-019154
特開平3-019154
光記録媒体及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-353467 出願人：富士写真フイルム株式会社

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