特許
J-GLOBAL ID：200903091416340413
インプリント加工用スタンパーおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-204958
公開番号（公開出願番号）：特開2006-032423
出願日： 2004年07月12日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：
【課題】プレス加工による正常なパターンの転写が可能なインプリント加工用スタンパーを提供する。【解決手段】表面に凹凸パターンを有する金属製のスタンパー本体と、スタンパー本体の表面に形成された、無機カーボンを10%以上含む膜とを具備したインプリント加工用スタンパー。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
表面に凹凸パターンを有する金属製のスタンパー本体と、
前記スタンパー本体の表面に形成された、無機カーボンを10%以上含む膜と
を具備したことを特徴とするインプリント加工用スタンパー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502D
, G03F7/20 501
出願人引用 (2件)
審査官引用 (12件)
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