特許
J-GLOBAL ID：200903091430929861

複屈折測定装置及び複屈折測定方法

発明者：
月原 浩一

月原 浩一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-111810
公開番号（公開出願番号）：特開2001-296206
出願日： 2000年04月13日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：
【要約】【課題】 光学硝子をレンズ形状に研磨した後の被検物の複屈折を測定可能で、光学硝子の研磨、光学薄膜の蒸着、或いはマウント時に生じる被検物の複屈折を知ることができる複屈折測定装置を提供する。【解決手段】 方位Yの直線偏光の光101を被検レンズ3の一部に照射する照射光学系4と、光101がレンズ3を透過し偏光方位が変換されかつレンズ3の光軸AXと平行な楕円偏光の光103を受光する受光光学系7と、光101が反射鏡5で反射された照明光102で、レンズ33の面内各部を走査する走査機構8と、照明光102の走査位置に応じて,光学系7を移動させる移動機構9と、光学系7が受光した偏光光103に基づいて,レンズ3の複屈折を検出する複屈折検出部10とを備える。光学系7を、走査機構に同期して光軸AXに対して横ずらしすることにより、レンズ3の複屈折を測定できる。
請求項（抜粋）：
所定の偏光方位を有する第1の偏光光を、複屈折を有する被検物の面内の一部に照射する照射光学系と、前記第1の偏光光が前記被検物の面内の一部を透過することにより、偏光方位が変換されかつ被検物の光軸と平行な第2の偏光光を受光する受光光学系と、前記第1の偏光光で、前記被検物の面内各部を走査する走査機構と、前記被検物の面内における前記第1の偏光光の走査位置に応じて,前記受光光学系を移動させる移動機構と、前記受光光学系が受光した前記第2の偏光光に基づいて,前記被検物の複屈折を検出する複屈折検出部とを備えることを特徴とする複屈折測定装置。
IPC (4件)：
G01M 11/02 ,  G01J 4/04 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/23
FI (4件)：
G01M 11/02 B ,  G01J 4/04 Z ,  G01M 11/00 L ,  G01N 21/23
Fターム (18件)：
2G059AA02 ,  2G059BB15 ,  2G059CC20 ,  2G059DD12 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE05 ,  2G059FF06 ,  2G059GG00 ,  2G059GG04 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059KK01 ,  2G059KK04 ,  2G086FF05 ,  2G086HH07
引用特許：
審査官引用 (5件)
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