特許
J-GLOBAL ID：200903091783835089

感光性樹脂組成物及びそのパターン形成方法

発明者：
竹田 敏郎

竹田 敏郎 について

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指田 暢幸

指田 暢幸 について

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真壁 裕明

真壁 裕明 について

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竹田 直滋

竹田 直滋 について


出願人/特許権者：
住友ベークライト株式会社

住友ベークライト株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-307947
公開番号（公開出願番号）：特開平9-146274
出願日： 1995年11月27日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 接着性に優れた、極めて微細なポリイミドパターンを得ることのできる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感光基を含む特定構造のポリアミド酸エステル、エポキシ基を含有するシランカップリング剤とテトラカルボン酸二無水物とを反応させてなる有機ケイ素化合物、光重合開始剤及び/又は光増感剤からなる感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1a)、(1b)及び(1c)で示されるポリアミド酸エステル、(B)下記一般式(2)で示される有機ケイ素化合物、(C)光重合開始剤及び/又は光増感剤を必須成分とすることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】【化2】
IPC (8件)：
G03F 7/038 504 ,  G03F 7/038 501 ,  C08F299/00 MRU ,  C08K 5/54 ,  C08L 77/06 KLB ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/075 501
FI (8件)：
G03F 7/038 504 ,  G03F 7/038 501 ,  C08F299/00 MRU ,  C08K 5/54 ,  C08L 77/06 KLB ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/075 501
引用特許：
出願人引用 (6件)
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