特許

J-GLOBAL ID：200903091924841657

感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜およびマイクロレンズ、ならびにそれらの製造方法

発明者： 三谷 浩司 ,  飯島 孝浩 ,  梶田 徹 ,  濱田 謙一 ,  花村 政暁
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (3件)： 大島 正孝 ,  勝又 秀夫 ,  白石 泰三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-064660
公開番号（公開出願番号）：特開2008-225162
出願日： 2007年03月14日
公開日（公表日）： 2008年09月25日
要約：

【課題】十分なプロセスマージンと良好な保存安定性を有し、かつ、層間絶縁膜、マイクロレンズとして必要な耐熱性、耐溶剤性、透明性、下地との密着性を備えた硬化物を与えうる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物と(メタ)アクリロイルオキシアルキルオキセタンと他のオレフィン系不飽和化合物との共重合体、1,2-キノンジアジド化合物、ならびにエポキシ基含有化合物および/または他のオキセタニル基含有化合物を含有する感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

[A](a1)不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも1種、 (a2)下記式(I)または下記式(II)で示される化合物、

IPC (6件)：

G03F 7/023 ,  G03F 7/004 ,  G02B 1/04 ,  C08F 220/04 ,  C08F 220/28 ,  G02B 3/00

FI (6件)：

G03F7/023 ,  G03F7/004 501 ,  G02B1/04 ,  C08F220/04 ,  C08F220/28 ,  G02B3/00 Z

Fターム (37件)：

2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AA14 ,  2H025AB14 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J100AJ01P ,  4J100AJ02P ,  4J100AJ08P ,  4J100AJ09P ,  4J100AL03R ,  4J100AL04R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL09 ,  4J100AL44R ,  4J100BA16P ,  4J100BB10Q ,  4J100BC04R ,  4J100BC08R ,  4J100BC12R ,  4J100BC43P ,  4J100BC43Q ,  4J100BC43R ,  4J100BC53Q ,  4J100JA33 ,  4J100JA37

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 感放射線性樹脂組成物、その層間絶縁膜およびマイクロレンズの形成への使用、ならびに層間絶縁膜およびマイクロレンズ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-174948   出願人：ジェイエスアール株式会社
• 感放射線性樹脂組成物およびその硬化物の素子への使用
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-162222   出願人：ジェイエスアール株式会社
• レンズ用感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-198980   出願人：日本合成ゴム株式会社
• マイクロレンズ用感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-284585   出願人：日本合成ゴム株式会社