超電導量子干渉素子

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田守 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-124919
公開番号（公開出願番号）：特開平8-316538
出願日： 1995年05月24日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】低雑音で磁界検出ができる超電導量子干渉素子を提供する。【構成】バイクリスタル基板の上に超電導薄膜を成膜し、バイクリスタル基板の接合部の上にできた2つの粒界接合部(弱接合部)を含む超電導ループを形成し、超電導量子干渉素子を作成する。このとき成膜条件の最適化によって超電導薄膜3a,3bのc軸がそれぞれ基板表面に対して傾斜した薄膜となる。これにより、低雑音で磁界を検出できる。また、粒界接合部の下部または上部に超電導薄膜をグラウンドプレーンとして形成する。これにより、ピックアップコイルを付加した素子において、磁界雑音を低減する。

請求項（抜粋）：

基板と、基板上に形成され、c軸が基板表面に対して傾斜した結晶配向性を持ち、2カ所で相互に接合する第1と第2の層状化合物超電導膜と、第1と第2の層状酸化物超電導膜の上記の2カ所の接合部にそれぞれ介在する弱結合の第1と第2の粒界接合部とからなることを特徴とする超電導量子干渉素子。

IPC (2件)：

H01L 39/22 ZAA , G01R 33/035 ZAA

FI (2件)：

H01L 39/22 ZAA D , G01R 33/035 ZAA

引用特許：

出願人引用 (9件)

超電導素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-261516 出願人：株式会社東芝
特開平4-124884
SQUID磁力計
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-218379 出願人：株式会社島津製作所

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審査官引用 (4件)

感光性平版印刷版焼付装置用位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-205458 出願人：富士写真フイルム株式会社
超電導素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-261516 出願人：株式会社東芝
特開平4-124884

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