特許
J-GLOBAL ID：200903092725288961
マイクロ部品用金型およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (7件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 西 和哉
, 村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-271637
公開番号（公開出願番号）：特開2004-106341
出願日： 2002年09月18日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：
【課題】製造コストが安価でかつ高い精度を有し、しかも表面層の硬度が高いマイクロ部品用金型およびその製造方法を提供する。【解決手段】少なくとも表面層として硬質皮膜11が形成されためっき金属からなることを特徴とするマイクロ部品用金型10。硬質皮膜11は、傾斜分布組成を有する。硬質皮膜11はTiNを含むTi膜からなり、TiNの濃度が硬質皮膜11の表層から内部に向かって次第に低下している。シリコン基板20の表面を加工してマイクロ部品用金型10の原型を調製し、この原型の表面に硬質皮膜11を形成し、硬質皮膜11の表面に無電解めっきおよび/または電解めっきにより、無電解めっき金属層13および/または電解めっき金属層14を形成して、これらめっき金属層と硬質皮膜11とを密着させ、これらめっき金属層にマイクロ部品用金型10の原型を転写するマイクロ部品用金型10の製造方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
少なくとも表面層に硬質皮膜が形成されためっき金属からなることを特徴とするマイクロ部品用金型。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
4F202AH73
, 4F202AJ02
, 4F202AJ09
, 4F202CA30
, 4F202CB01
, 4F202CD02
, 4F202CD05
, 4F202CD07
, 4F202CD12
, 4F202CD22
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (10件)
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