金属用研磨液及びそれを用いた研磨方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-368848
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252244
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】貯蔵、運搬、保管などの面から要請される金属用研磨液の濃縮化をはかると共にそれを希釈して用いて研磨した際に信頼性の高い金属膜の埋め込みパターン形成を可能とする金属用研磨液及びそれを用いた研磨方法を提供する。【解決手段】金属の酸化剤、酸化金属溶解剤、25°Cでの水に対する溶解度が5重量%未満の保護膜形成剤、25°Cでの水に対する溶解度が5重量%以上の保護膜形成剤及び水を含有する金属用研磨液を使用する際に水または水溶液を加え希釈して使用する金属用研磨液。前記の希釈した金属用研磨液を研磨定盤上の研磨パッドに供給し、被研磨面と接触させて被研磨面と研磨パッドを相対運動させて研磨する研磨方法。

請求項（抜粋）：

金属の酸化剤、酸化金属溶解剤、25°Cでの水に対する溶解度が5重量%未満の保護膜形成剤、25°Cでの水に対する溶解度が5重量%以上の保護膜形成剤及び水を含有する金属用研磨液を使用する際に水または水溶液を加え希釈して使用することを特徴とする金属用研磨液。

IPC (3件)：

H01L 21/304 622 , B24B 37/00 , C09K 3/14 550

FI (3件)：

H01L 21/304 622 C , B24B 37/00 H , C09K 3/14 550 Z

引用特許：

審査官引用 (7件)

研磨用組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-131073 出願人：株式会社フジミインコーポレーテッド
基体の平坦化方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-035344 出願人：ソニー株式会社
特開昭64-078759

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