特許
J-GLOBAL ID：200903092831995430
表面性状測定装置のトレンド補正方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-269276
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097689
出願日： 1998年09月24日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：
【要約】【課題】 処理量の増大を招くことなく、測定データ曲線から効果的にトレンド成分を除去する。【解決手段】 被測定物を倣い測定して得られた測定データから被測定物の表面性状を解析するのに先立って、測定データを任意の複数のセグメントに分割し、各セグメントに対してそれぞれ特定の幾何形状を当てはめ、各セグメント毎にそのセグメントに割り当てられた幾何形状の成分を除去することによりトレンド補正を行う。
請求項（抜粋）：
被測定物を倣い測定して得られた測定データから前記被測定物の表面性状を解析するのに先立って、前記測定データに特定の幾何形状を当てはめたのち、前記測定データから前記幾何形状の成分を除去することにより前記測定データをトレンド補正する表面性状測定装置のトレンド補正方法において、前記測定データを任意の複数のセグメントに分割し、各セグメントに対してそれぞれ特定の幾何形状を当てはめ、各セグメント毎にそのセグメントに割り当てられた幾何形状の成分を除去することによりトレンド補正を行うようにしたことを特徴とする表面性状測定装置のトレンド補正方法。
Fターム (13件)：
2F069AA04
, 2F069AA57
, 2F069AA60
, 2F069AA66
, 2F069GG01
, 2F069GG12
, 2F069GG62
, 2F069GG71
, 2F069HH01
, 2F069HH04
, 2F069JJ05
, 2F069NN00
, 2F069NN17
出願人引用 (9件)
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表面プロフィール測定方法及び装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-007586
出願人：川崎製鉄株式会社
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形状測定機
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-190923
出願人：株式会社ミツトヨ
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特開平4-340406
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審査官引用 (6件)
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