特許
J-GLOBAL ID：200903092881064259
多軸加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-129284
公開番号（公開出願番号）：特開2006-308352
出願日： 2005年04月27日
公開日（公表日）： 2006年11月09日
要約：
【課題】質量部の変位感度比率を均一化することにより、Z軸方向の加速度が加わってもXY軸方向の加速度検出精度が悪くなってしまうことのない多軸加速度センサを提供することを目的とする。【解決手段】XYZ座標系におけるXY平面に沿って配置され加速度に応じて変位する質量部12を複数の梁部14を介して周囲の支持部13に支持する可動基板11と、この可動基板11における支持部13と接合され、かつ可動基板11における質量部12と所定間隔を有する固定電極16を上面に設けた固定基板15とを備え、前記複数の梁部14を、支持部13からX軸あるいはY軸と平行方向に延びた第1の梁部17と、質量部12に連結され、かつXY軸と45°方向に斜めに延びた第2の梁部18とにより構成し、前記第2の梁部18の長手方向と垂直な断面2次モーメントを第1の梁部17の長手方向と垂直な断面2次モーメントより小さくしたものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
XYZ座標系におけるXY平面に沿って配置され加速度に応じて変位する質量部を複数の梁部を介して周囲の支持部に支持する可動基板と、この可動基板における支持部と接合され、かつ可動基板における質量部と所定間隔を有する固定電極を上面に設けた固定基板とを備え、前記複数の梁部を、前記支持部からX軸あるいはY軸と平行方向に延びた第1の梁部と、前記質量部に連結され、かつXY軸と45°方向に斜めに延びた第2の梁部とにより構成し、前記第2の梁部の長手方向と垂直な断面2次モーメントを前記第1の梁部の長手方向と垂直な断面2次モーメントより小さくした多軸加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/18
, G01P 15/125
, H01L 29/84
G01P15/00 K
, G01P15/125 Z
, H01L29/84 Z
4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA24
, 4M112CA25
, 4M112CA31
, 4M112CA33
, 4M112DA04
, 4M112DA09
, 4M112DA18
, 4M112EA02
, 4M112EA11
, 4M112EA13
, 4M112FA02
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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