特許
J-GLOBAL ID：200903092897524128

電子線照射装置

発明者：
平川 哲也

平川 哲也 について

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佐藤 洋一

佐藤 洋一 について

, 
越智 雅文

越智 雅文 について


出願人/特許権者：
岩崎電気株式会社

岩崎電気株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-207983
公開番号（公開出願番号）：特開2002-022899
出願日： 2000年07月10日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：
【要約】【課題】 加速管内で不用な放電を発生させず、長寿命で、被処理物に対して電子線をより均一に照射することができ、電源がコンパクトで、製作の容易な電子線照射装置を提供する。【解決手段】 電子源とガングリッドとを有するガン構造体と、同ガン構造体を内蔵し電子を通過させる高電圧ターミナルとを具備し、同高電圧ターミナルを通過した電子を、電子線照射窓を通して照射空間に放出させる電子線照射装置において、前記電子源に電界放出素子を用いたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
電子源とガングリッドとを有するガン構造体と、同ガン構造体を内蔵し電子を通過させる高電圧ターミナルとを具備し、同高電圧ターミナルを通過した電子を、電子線照射窓を通して照射空間に放出させる電子線照射装置において、前記電子源に電界放出素子を用いたことを特徴とする電子線照射装置。
IPC (4件)：
G21K 5/04 ,  B01J 19/08 ,  G21K 1/00 ,  H01J 1/304
FI (4件)：
G21K 5/04 F ,  B01J 19/08 Z ,  G21K 1/00 E ,  H01J 1/30 F
Fターム (8件)：
4G075AA01 ,  4G075BA05 ,  4G075CA39 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EB31 ,  4G075FB03 ,  4G075FC11
引用特許：
審査官引用 (7件)
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