特許
J-GLOBAL ID：200903092966452665

感光性樹脂組成物及びその用途

発明者：
山田 有里

山田 有里 について


出願人/特許権者：
旭化成エレクトロニクス株式会社

旭化成エレクトロニクス株式会社 について


代理人 (4件)： 鳴井 義夫 ,  清水 猛 ,  伊藤 穣 ,  武井 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-327117
公開番号（公開出願番号）：特開2008-139680
出願日： 2006年12月04日
公開日（公表日）： 2008年06月19日
要約：
【課題】現像後解像性が良好で、現像液分散安定性に優れ凝集物を発生せず、良好なエッジフューズ性と追従性を有する感光性樹脂組成物、及び該組成物からなる感光性樹脂層を有する感光性樹脂積層体を提供すること、ならびに、該積層体を用いたレジストパターンの形成方法、及び導体パターンの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】感光性樹脂組成物の総和に対して、(a)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜550であり、共重合成分としてベンジル(メタ)アクリレートを共重合体成分として20〜80質量%、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレートを共重合体成分として3〜60質量%含有し、かつ、重量平均分子量が5000〜500000であるバインダー用樹脂:20〜90質量%、(b)光重合可能なモノマー:3〜70質量%、(c)光重合開始剤:0.1〜20質量%、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物を用いる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
感光性樹脂組成物の総和に対して、(a)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜550であり、共重合成分としてベンジル(メタ)アクリレートを共重合体成分として20〜80質量%、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレートを共重合体成分として3〜60質量%含有し、かつ、重量平均分子量が5000〜500000であるバインダー用樹脂:20〜90質量%、(b)光重合可能なモノマー:3〜70質量%、(c)光重合開始剤:0.1〜20質量%、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/033 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/18 ,  H05K 3/06
FI (6件)：
G03F7/033 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/031 ,  G03F7/027 502 ,  H05K3/18 D ,  H05K3/06 J
Fターム (31件)：
2H025AA00 ,  2H025AA04 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC43 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB55 ,  2H025EA08 ,  2H025FA42 ,  2H025FA43 ,  2H025FA47 ,  5E339BC02 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CF01 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG04 ,  5E339DD04 ,  5E343CC63 ,  5E343DD32 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18
引用特許：
出願人引用 (11件)
全件表示
審査官引用 (2件)

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