特許
J-GLOBAL ID:200903052930500033

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-128989
公開番号(公開出願番号):特開2001-305730
出願日: 2000年04月25日
公開日(公表日): 2001年11月02日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 剥離特性、現像性、耐スカム発生性、密着性及び作業性が優れる感光性樹脂組成物と感光性エレメント並びにそれを用いたレジストパターンの製造法とプリント配線板の製造法を提供する。【解決手段】 (A)2種類以上のバインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物であり、前記(B)成分が(b1)分子内に1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有し、かつ分子内にフェニル基又はフェニレン基を少なくとも1つ有する化合物を必須成分とする感光性樹脂組成物、この感光性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥、積層してなる感光性エレメント、この感光性エレメントを用いたレジストパターンとプリント配線板の製造法。
請求項(抜粋):
(A)2種類以上のバインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物であり、前記(B)成分が(b1)分子内に1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有し、かつ分子内にフェニル基又はフェニレン基を少なくとも1つ有する化合物を必須成分とする感光性樹脂組成物。
IPC (8件):
G03F 7/027 502 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/50 ,  C08F291/00 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18
FI (8件):
G03F 7/027 502 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/50 ,  C08F291/00 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/06 H ,  H05K 3/18 D
Fターム (76件):
2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AA16 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC34 ,  2H025BC43 ,  2H025BC83 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB15 ,  2H025CB16 ,  2H025CB56 ,  2H025FA43 ,  4J011PA65 ,  4J011PA69 ,  4J011PA85 ,  4J011PA86 ,  4J011PA88 ,  4J011PA96 ,  4J011PC02 ,  4J011QA03 ,  4J011QA12 ,  4J011QB15 ,  4J011QB16 ,  4J011RA03 ,  4J011RA06 ,  4J011RA10 ,  4J011SA21 ,  4J011SA31 ,  4J011SA41 ,  4J011SA63 ,  4J011UA01 ,  4J011UA06 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA17 ,  4J026AA45 ,  4J026AB01 ,  4J026AB04 ,  4J026AB11 ,  4J026AB28 ,  4J026AC17 ,  4J026BA27 ,  4J026BA50 ,  4J026DA15 ,  4J026DB06 ,  4J026GA01 ,  4J026GA06 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE16 ,  5E339CE19 ,  5E339CF15 ,  5E339CG04 ,  5E339DD02 ,  5E339DD04 ,  5E343AA02 ,  5E343AA12 ,  5E343AA15 ,  5E343AA17 ,  5E343BB24 ,  5E343CC62 ,  5E343CC65 ,  5E343DD21 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG01 ,  5E343GG08 ,  5E343GG11
引用特許:
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (14件)
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