特許
J-GLOBAL ID：200903093201883370
化学気相堆積装置、および化学気相堆積方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-253445
公開番号（公開出願番号）：特開2001-073145
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：
【要約】【課題】 液体プリカーサー化合物を原料に使う化学気相堆積装置において、原料容器から処理容器まで、前記液体プリカーサー化合物を安定に輸送する。【解決手段】 処理容器に隣接して副室を設け、前記液体プリカーサー化合物に対して安定化剤を過剰に含む液体原料混合物を前記副室に給送し、前記副室で気化したプリカーサー化合物を処理容器に供給する前に、過剰な安定化剤を前記副室を排気することにより除去する。
請求項（抜粋）：
原料化合物と安定化剤との混合物よりなる液体を保持する原料容器と、被処理基板を保持する基板載置台を備え、前記原料化合物の分解反応により、前記基板載置台上に保持された前記被処理基板の表面に、堆積を行なう処理容器と、前記液体を、前記原料容器から前記処理容器に供給する供給系と、前記処理容器を排気する排気系とを備え、前記供給系は、前記処理容器の近傍に、前記安定化剤を除去する副室を備えたことを特徴とする化学気相堆積装置。
IPC (3件)：
C23C 16/448
, C23C 16/18
, H01L 21/285
C23C 16/448
, C23C 16/18
, H01L 21/285 C
4K030AA06
, 4K030AA11
, 4K030AA17
, 4K030BA01
, 4K030EA01
, 4K030EA05
, 4K030EA11
, 4K030KA23
, 4M104BB04
, 4M104BB14
, 4M104DD44
, 4M104DD45
, 4M104HH20
