特許
J-GLOBAL ID：200903093245275360

研磨プロファイル又は研磨量の予測方法、研磨方法及び研磨装置、プログラム、記憶媒体

発明者：
望月 宣宏

望月 宣宏 について

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戸川 哲二

戸川 哲二 について

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福田 明

福田 明 について

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辻村 学

辻村 学 について

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檜山 浩国

檜山 浩国 について

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廣川 一人

廣川 一人 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (5件)： 渡邉 勇 ,  堀田 信太郎 ,  小杉 良二 ,  森 友宏 ,  廣澤 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-185752
公開番号（公開出願番号）：特開2006-043873
出願日： 2005年06月24日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：
【課題】 研磨部材の消耗度によって経時的に変化する研磨プロファイルからのデータに基づいて、研磨部材の状態に合わせて自動的に研磨条件を再設定することにより、研磨部材の延命化を図るとともに、一層精度の高い平坦性を得ることのできるようにする。【手段】 少なくとも2つの押圧部分を有し、該押圧部分ごとに任意の圧力を研磨対象物に加えることができるトップリングを有する研磨装置を用いて前記研磨対象物を研磨する時の研磨プロファイル又は研磨量を予測する方法であって、押圧部分が研磨対象物の対応エリアを押圧する裏面圧力を設定するステップと、設定された裏面圧力から研磨対象物が研磨面を押圧する押圧力分布を予測するステップと、予測された押圧力分布から研磨対象物の研磨プロファイル又は研磨量の予測値を求めるステップとを備える。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
少なくとも2つの押圧部分を有し、該押圧部分ごとに任意の圧力を研磨対象物に加えることができるトップリングを有する研磨装置を用いて前記研磨対象物を研磨する時の研磨プロファイル又は研磨量を予測する方法であって、 前記押圧部分が前記研磨対象物の対応エリアを押圧する裏面圧力を設定するステップと、 前記設定された裏面圧力から前記研磨対象物が研磨面を押圧する押圧力分布を予測するステップと、 前記予測された押圧力分布から前記研磨対象物の研磨プロファイル又は研磨量の予測値を求めるステップと、 を備えることを特徴とする研磨プロファイル又は研磨量の予測方法。
IPC (3件)：
B24B 37/00 ,  B24B 37/04 ,  H01L 21/304
FI (5件)：
B24B37/00 B ,  B24B37/04 K ,  H01L21/304 622K ,  H01L21/304 622R ,  H01L21/304 622S
Fターム (12件)：
3C058AA07 ,  3C058AA12 ,  3C058BA01 ,  3C058BA02 ,  3C058BA05 ,  3C058BA09 ,  3C058BB06 ,  3C058BB09 ,  3C058BC02 ,  3C058CB03 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)

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