特許
J-GLOBAL ID:200903093256225151

センサヘッド、及びセンサヘッドの製造方法、センサ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 長尾 達也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-150289
公開番号(公開出願番号):特開2004-354130
出願日: 2003年05月28日
公開日(公表日): 2004年12月16日
要約:
【課題】誘電率の変化に対して感度が高く、波長スペクトルを取得するための分光器あるいは回折格子などの部品を必要とせず、部品点数の少ないセンサヘッド、及びセンサヘッドの製造方法、センサ装置を提供する。【解決手段】照射した照明光による局在プラズモンの共鳴吸収スペクトルの変化から誘電率の変化を検出する際に用いる、誘電率センサヘッドとして構成されているセンサヘッドであって、前記センサヘッドを、基板101と該基板上に一定方向に規則的に配列された金属細線102とで構成する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
照射した照明光による局在プラズモンの共鳴吸収スペクトルの変化から誘電率の変化を検出する際に用いる、誘電率センサヘッドとして構成されているセンサヘッドであって、 前記センサヘッドが、基板と、該基板上に一定方向に規則的に配列された金属細線とで構成されていることを特徴するセンサヘッド。
IPC (2件):
G01N21/27 ,  G01N21/41
FI (2件):
G01N21/27 C ,  G01N21/41
Fターム (14件):
2G059BB01 ,  2G059BB04 ,  2G059CC16 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE07 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK04
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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