特許
J-GLOBAL ID：200903093302727582

ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛膜、ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛積層体およびその製造方法、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、並びに、電子機器

発明者：
木島 健

木島 健 について

, 
樋口 天光

樋口 天光 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (4件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄 ,  伊奈 達也 ,  竹腰 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-086188
公開番号（公開出願番号）：特開2006-270554
出願日： 2005年03月24日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【課題】 ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛膜、これを有するニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛積層体およびその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明に係るニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛積層体100は、サファイア基板11と、サファイア基板11の上に形成されたニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛膜12と、を含む。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
正方晶(110)または(101)配向で、あるいは菱面体晶(110)配向で、エピタキシャル成長している、ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛膜。
IPC (9件)：
H03H 9/25 ,  C01G 33/00 ,  C30B 1/02 ,  C30B 29/32 ,  H03B 5/30 ,  H03H 9/64 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/09
FI (11件)：
H03H9/25 C ,  C01G33/00 A ,  C30B1/02 ,  C30B29/32 D ,  H03B5/30 A ,  H03H9/64 Z ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101J ,  H01L41/22 A ,  H01L41/08 U ,  H01L41/08 C
Fターム (34件)：
4G048AA03 ,  4G048AB02 ,  4G048AC01 ,  4G048AD02 ,  4G048AD06 ,  4G048AE08 ,  4G077AA03 ,  4G077BC43 ,  4G077CA03 ,  4G077CA08 ,  4G077CB08 ,  4G077EA02 ,  4G077ED05 ,  4G077ED06 ,  4G077HA04 ,  4G077HA11 ,  5J079AA04 ,  5J079BA00 ,  5J079FA01 ,  5J079HA22 ,  5J079HA28 ,  5J097AA01 ,  5J097AA06 ,  5J097AA19 ,  5J097AA21 ,  5J097AA29 ,  5J097BB01 ,  5J097BB11 ,  5J097FF01 ,  5J097GG05 ,  5J097GG06 ,  5J097KK08 ,  5J097KK09 ,  5J097KK10
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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