プローブカード及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：高岡亮一 , 加藤清志
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-537587
公開番号（公開出願番号）：特表2009-513970
出願日： 2006年10月19日
公開日（公表日）： 2009年04月02日
要約：

【解決手段】プローブカード及びその製造方法を提供する。前記方法は、複数の導電パターンが形成された基板上に、導電パターンに電気的に接続するソルダーバンプを形成し、ソルダーバンプにより支持されながら導電パターンに接続するプローブを形成した後、ソルダーバンプを溶融することでプローブを基板に固定するステップを含む。このとき、ソルダーバンプを形成するステップは、所定のフォト及びエッチング工程を用いてソルダーバンプを同一な大きさ及びパターンに形成するステップを含む。

請求項（抜粋）：

複数の導電パターンが形成された基板上に、前記導電パターンに電気的に接続され、是プローブが挿入される間隙部を有するソルダーバンプを形成するステップと、前記間隙部に前記プローブを挿入し、前記プローブは前記ソルダーバンプにより支持され、前記プローブを前記導電パターンに接続するステップと、前記ソルダーバンプを溶融することで、前記プローブを前記基板に固定するステップと、を含むことを特徴とするプローブカードの製造方法。

IPC (2件)：

G01R 1/073 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01R1/073 F , H01L21/66 B

Fターム (14件)：

2G011AA10 , 2G011AA12 , 2G011AA21 , 2G011AB06 , 2G011AC14 , 2G011AC21 , 2G011AE03 , 2G011AE22 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106BA01 , 4M106CA01 , 4M106DD04 , 4M106DD10

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-171957
特開平4-171957
マイクロ電気機械的機構
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-372217 出願人：ゼロックス・コーポレーション

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