特許
J-GLOBAL ID：200903093379348568

位置検出用マーク及びそれを備えたレチクル又は感光性基板、位置検出方法、マーク評価方法、及びマーク検出方法とマーク検出装置、並びに露光方法と露光装置

発明者：
國米 祐司

國米 祐司 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-131131
公開番号（公開出願番号）：特開2005-317617
出願日： 2004年04月27日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：
【課題】 検出条件等が異なっても位置検出を精度良く行うことができる位置検出用マークを提供する。【解決手段】 基板P上に設けられ、基板PのX軸方向における位置検出に用いられる位置検出用マークAMは、X軸方向において第1の幅W1を有する第1領域1と、第1領域1と異なる位置に配置され、X軸方向において第1の幅W1とは異なる第2の幅W2を有する第2領域2とを有し、第1領域1は、X軸方向における第1の幅W1がY軸方向に連続する第1区間L1を有し、第2領域2は、X軸方向における第2の幅W2がY軸方向に連続する第2区間L2を有し、第1区間L1のX軸方向における中心の位置情報の値と第2区間L2のX軸方向における中心の位置情報の値とのそれぞれは設計値上で同じ値に設定されている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
物体上に設けられ、該物体の第1の方向における位置検出に用いられる位置検出用マークにおいて、 前記第1の方向において第1の幅を有する第1領域と、 前記第1領域と異なる位置に配置され、前記第1の方向において前記第1の幅とは異なる第2の幅を有する第2領域とを有し、 前記第1領域は、前記第1の方向における前記第1の幅が前記第1の方向と直交する第2の方向に連続する第1区間を有し、 前記第2領域は、前記第1の方向における前記第2の幅が前記第2の方向に連続する第2区間を有し、 前記第1区間の前記第1の方向における中心の位置情報の値と前記第2区間の前記第1の方向における中心の位置情報の値とのそれぞれは設計値上で同じ値に設定されていることを特徴とする位置検出用マーク。
IPC (2件)：
H01L21/027 ,  G03F1/08
FI (2件)：
H01L21/30 522B ,  G03F1/08 N
Fターム (12件)：
2H095BE03 ,  5F046CC01 ,  5F046EA03 ,  5F046EA09 ,  5F046EB01 ,  5F046EB02 ,  5F046ED02 ,  5F046ED03 ,  5F046FA10 ,  5F046FA16 ,  5F046FB06 ,  5F046FC04
引用特許：
出願人引用 (4件)
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