特許

J-GLOBAL ID：200903093429540600

基板搬送装置及び基板処理システム

発明者： 田上 真也 ,  岩崎 達也 ,  林 誠
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 大森 純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-241146
公開番号（公開出願番号）：特開2003-060011
出願日： 2001年08月08日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：

【要約】【課題】 効率良く基板の有無を検出して検出時間を短縮することができ、しかも、装置点数及び装置コストを増大させることのない基板搬送装置及び基板処理システムを提供すること。【解決手段】 ピンセット43の上部に基板の位置ずれ検出用を兼ねた基板検出用のセンサ5が取り付けられている。ピンセット43をカセットC内に挿入してしまい、この挿入の際に基板の存在を検出すれば、そのまま当該検出した基板を取り出すことができる。また一方、ピンセット挿入の際に基板を検出できなければ、基板を検出するまで上昇させ、検出したらそのままピンセット43を上昇し続けることにより、当該検出した基板を保持し取り出すことができる。

請求項（抜粋）：

複数の基板を上下方向に多段に収容するカセット内にアクセス挿入して基板を出し入れするピンセットと、前記ピンセットを少なくとも前記カセット内に挿入させるために進退移動させる第1の駆動部と、少なくとも前記カセット内で前記基板を前記ピンセットにより保持するために、前記ピンセットを上下移動させる第2の駆動部と、前記ピンセットに取り付けられ、前記カセット内における基板の有無を検出するセンサとを具備することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B25J 13/08 ,  B65G 1/00 543 ,  B65G 49/06

FI (5件)：

H01L 21/68 L ,  H01L 21/68 A ,  B25J 13/08 A ,  B65G 1/00 543 A ,  B65G 49/06 A

Fターム (47件)：

3C007AS03 ,  3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007BS21 ,  3C007CS04 ,  3C007CT04 ,  3C007CT05 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007DS01 ,  3C007ES03 ,  3C007FS01 ,  3C007FT11 ,  3C007KS03 ,  3C007KS36 ,  3C007KV11 ,  3C007KX05 ,  3C007KX07 ,  3C007LV14 ,  3C007NS09 ,  3C007NS12 ,  3F022AA08 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022KK01 ,  3F022MM13 ,  3F022PP06 ,  3F022QQ11 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA36 ,  5F031GA44 ,  5F031GA48 ,  5F031JA06 ,  5F031JA13 ,  5F031JA17 ,  5F031JA23 ,  5F031JA27 ,  5F031MA07 ,  5F031MA09 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031PA02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ワークのアライメント装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-146229   出願人：株式会社メックス
• ウェハ搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-302425   出願人：日本電子株式会社
• 被処理物の移載装置の制御方法および移載方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-135223   出願人：東京エレクトロン東北株式会社
• ウェーハ搬送機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-328386   出願人：国際電気株式会社