特許
J-GLOBAL ID：200903032857725950

静電チャック装置

発明者：
松永 忠生

松永 忠生 について

, 
小林 正治

小林 正治 について


出願人/特許権者：
株式会社巴川製紙所

株式会社巴川製紙所 について

, 
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-283126
公開番号（公開出願番号）：特開2000-114358
出願日： 1998年10月05日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：
【要約】【課題】 側面からの侵食を防ぎ、絶縁破壊を防止し、耐久性能の高い静電チャック装置。【解決手段】 金属基盤12上に、少なくとも電気絶縁層14と電極18と吸着層22とが積層された静電チャック装置において、その側面に侵食防止絶縁物42が設けられている。静電チャック装置をエッチング処理等に供しても、その側面からの侵食を抑制でき、侵食欠損部の形成を防ぐことのできる耐プラズマ性、耐エッチング性に優れ、絶縁破壊を防止し、耐久性能が高い。
請求項（抜粋）：
金属基盤上に、少なくとも電気絶縁層と電極と吸着層とが積層された静電チャック装置において、その側面に侵食防止絶縁物が設けられていることを特徴とする静電チャック装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  H02N 13/00 ,  B23Q 3/15
FI (3件)：
H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D ,  B23Q 3/15 D
Fターム (5件)：
3C016GA10 ,  5F031CA02 ,  5F031HA16 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32
引用特許：
審査官引用 (9件)
  • 耐腐食性静電チャック
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-285983   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
  • 静電チャック
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-062325   出願人：信越化学工業株式会社
  • ゴム系接着剤組成物
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-208528   出願人：日立化成工業株式会社
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