露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一 , 福田浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-014477
公開番号（公開出願番号）：特開2004-228343
出願日： 2003年01月23日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：

【課題】高い照明効率が得られると共に均一に露光することができる露光装置を提供することを課題とする。【解決手段】光源と、この光源から光が供給されるオプティカルインテグレータと、このオプティカルインテグレータを経由した光で照明される2次元空間変調素子と、を有する露光装置において、オプティカルインテグレータに向けて光を出射する光ファイババンドル端部174Eを光源に設け、出射側から見た光ファイババンドル端部174Eの出射エリア192を、オプティカルインテグレータの出射面の輪郭形状と略相似形とする。これにより、光ファイババンドル端部174Eから出射した光の大部分を照明設定エリアに照射することができるので、高い照明効率が得られると共に均一に露光することができる。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

光源と、前記光源から光が供給されるオプティカルインテグレータと、前記オプティカルインテグレータを経由した光で照明される2次元空間変調素子と、を有する露光装置であって、前記光源は、光ファイバを並べて配列し、前記光ファイバから光を出射する光ファイババンドルからなる光源であり、出射側から見た前記光ファイババンドルの端部で形成される出射エリアの形状と、前記オプティカルインテグレータの射出面の輪郭形状と、を略相似形にしたことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L21/027 , G02B26/08 , G03F7/20

FI (4件)：

H01L21/30 515A , G02B26/08 E , G03F7/20 521 , H01L21/30 515D

Fターム (8件)：

2H041AA16 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H041AZ01 , 5F046CB04 , 5F046CB13 , 5F046CB22 , 5F046CB23

引用特許：

審査官引用 (4件)

照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-170087 出願人：株式会社ニコン
画像露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-069872 出願人：富士写真フイルム株式会社
照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-019098 出願人：株式会社ニコン

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