パターン検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡本宜喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-373305
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183119
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】パターン検査装置において検査パターンの位置ずれや基材の収縮等による影響を少なくし、任意の感度を設定できるようにすること。【解決手段】カメラ3によってICパッケージ1の検査パターンを読込む。読込んだ画像を画像メモリ5に保持して、二値化回路6によって二値化する。あらかじめ検出すべき欠陥を含む特徴抽出パターンを有する特徴抽出演算子を保持しておき、これを走査することによって欠陥画像を検出する。欠陥した検出画像を所定画素数膨張させ、更に縮小させることによって欠陥の連結,孤立欠陥の消去を行う。こうして得られた画像の画素数を判定することによって、欠陥を検出している。

請求項（抜粋）：

検査パターンを撮像する撮像装置と、前記撮像装置によって撮像した画像をパターン部と他の部分とに二値化する二値化部と、前記二値化部より得られる二値化画像に対して所定の特徴抽出パターンを走査し、一致する画像の位置を検出することによって欠陥画素を検出する欠陥検出部と、前記検出された欠陥画素を第1の所定画素数膨張させる膨張部と、第2の画素数だけ前記膨張部で膨張された画像を縮小する縮小部と、縮小された欠陥画像の大きさに基づいてパターン異常を判別する判別部と、を具備することを特徴とするパターン検査装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G01N 21/956 , G03B 15/00

FI (4件)：

G01N 21/956 B , G03B 15/00 T , G01B 11/24 K , G01B 11/24 F

Fターム (35件)：

2F065AA49 , 2F065AA56 , 2F065AA58 , 2F065BB02 , 2F065CC01 , 2F065CC25 , 2F065DD06 , 2F065DD07 , 2F065FF42 , 2F065FF61 , 2F065HH12 , 2F065HH14 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065MM22 , 2F065NN17 , 2F065QQ03 , 2F065QQ04 , 2F065QQ08 , 2F065QQ21 , 2F065QQ23 , 2F065QQ24 , 2F065QQ31 , 2F065QQ32 , 2F065QQ36 , 2F065QQ41 , 2F065RR05 , 2G051AA65 , 2G051AB02 , 2G051CA04 , 2G051EA11 , 2G051EB01 , 2G051ED09 , 2G051ED15

引用特許：

審査官引用 (6件)

配線パターン検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-014600 出願人：松下電器産業株式会社
特開平3-024446
境界抽出方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-026952 出願人：株式会社トキメック

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