特許
J-GLOBAL ID：200903094074209599

成膜方法、有機化合物層及びディスプレイパネル

発明者：
森本 和紀

森本 和紀 について

, 
田野 朋子

田野 朋子 について


出願人/特許権者：
カシオ計算機株式会社

カシオ計算機株式会社 について


代理人 (2件)： 荒船 博司 ,  荒船 良男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-050730
公開番号（公開出願番号）：特開2006-236819
出願日： 2005年02月25日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：
【課題】有機化合物層の膜厚を均一にすることができる成膜方法を提供すること。【解決手段】複数の画素電極3をマトリクス状にパターニングし、減圧酸素プラズマ法又は紫外線/オゾン法によってこれら画素電極3を親液化する。正孔輸送層4aを画素電極3に成膜する。正孔輸送層4aの成膜後、正孔輸送層4aと同じ材料の溶液からなる上層を正孔輸送層4a上に成膜し、正孔輸送層4bを成膜する。その後、正孔輸送層4b上に発光層5を形成し、発光層5上に対向電極6を成膜する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
有機化合物層を成膜する成膜方法において、 有機化合物を含有した第一溶液を電極上に塗布し、乾燥してなる第一有機化合物層を成膜する第一成膜工程と、 前記第一有機化合物層上に、前記有機化合物を含有した第二溶液を塗布し、前記第一有機化合物層と同一の材料からなる第二有機化合物層を成膜する第二成膜工程と、 を有することを特徴とする成膜方法。
IPC (5件)：
H05B 33/10 ,  B05D 1/36 ,  H05B 33/12 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/22
FI (5件)：
H05B33/10 ,  B05D1/36 Z ,  H05B33/12 B ,  H05B33/14 A ,  H05B33/22 Z
Fターム (19件)：
3K007AB17 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007EA00 ,  3K007FA01 ,  4D075AE16 ,  4D075AE27 ,  4D075BB24Y ,  4D075BB24Z ,  4D075BB92Z ,  4D075CA36 ,  4D075CA37 ,  4D075CB08 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EC07
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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