特許
J-GLOBAL ID:200903094645964497
可とう性成形型及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 西山 雅也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-108999
公開番号(公開出願番号):特開2005-288933
出願日: 2004年04月01日
公開日(公表日): 2005年10月20日
要約:
【課題】 微細な格子状突起パターンあるいはそれに類似の突起パターンを表面に有する微細構造体を簡便かつ安価に、しかも高い寸法精度で歩留まりよく製造できるとともに、高い寸法精度及び良好な寸法安定性、特に湿度変化に対する良好な寸法安定性を同時に満足させ得るような可とう性成形型を提供すること。【解決手段】 可とう性成形型が、ポリマー材料及び強化材の複合材料からなる支持体と、前記支持体によって支持された、微細構造表面をその表面に備えた賦形層とを有するように構成する。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
微細構造体の製造において微細構造パターンの転写に使用される可とう性成形型であって、
(1)ポリマー材料及び強化材の複合材料からなる支持体と、
(2)前記支持体によって支持された、微細構造表面をその表面に備えた賦形層と、
を有することを特徴とする微細パターン転写用可とう性成形型。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (11件):
4F202AJ03
, 4F202AJ07
, 4F202AJ09
, 4F202AM32
, 4F202CA30
, 4F202CB01
, 4F202CD02
, 4F202CD03
, 4F202CD04
, 4F202CD26
, 4F202CD30
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
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