熱式フローセンサおよびその製造方法

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：柏木明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-238248
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083582
出願日： 1997年09月03日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】低消費電力で駆動できる2発熱体方式の熱式フローセンサを提供する。【解決手段】熱式フローセンサ1は、(110)面のシリコン基板2を備え、このシリコン基板2の一方の板面3上には、この板面3の一本の対角線を長さ方向としている堀4が形成され、また、板面3の中央部には前記堀4に架け渡したマイクロブリッジである橋5が形成されている。この橋5上には一対の発熱体Rh1、Rh2が設けられている。この発熱体Rh1は、この熱式フローセンサ1の測定対象である流体の流れる方向(矢印6で示す方向)の上流側に、発熱体Rh2は下流側に各々配置されている。橋5は、その長手方向が略前記シリコン基板2の<111>方向(矢印7で示す方向)として形成されている。そして、この<111>方向は、前記堀4内の流体の流れ方向(矢印8で示す方向)と略直交している。

請求項（抜粋）：

(110)面のシリコン基板と、このシリコン基板の板面上に形成された堀と、この堀の上に架け渡して形成されている橋と、流体の流れる方向の上流側、下流側に各々対応し前記橋の上の両側縁側に形成されている発熱体とを備え、前記橋の長手方向は前記シリコン基板表面の<111>軸方向であって、前記堀内の流体の流れ方向は前記橋の長手方向と直交していて、前記両発熱体が示す電気的特性の違いにより前記流体の流量を検出するものであることを特徴とする熱式フローセンサ。

IPC (2件)：

G01F 1/68 , G01P 1/12

FI (2件)：

G01F 1/68 , G01P 1/12

引用特許：

審査官引用 (6件)

マイクロセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-041485 出願人：株式会社リコー
流速センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-323980 出願人：株式会社リコー, リコー精器株式会社, リコーエレメックス株式会社
特公平6-025684

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