特許
J-GLOBAL ID:200903094666780019
ダイアタッチペースト及び半導体装置
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-041640
公開番号(公開出願番号):特開2002-187938
出願日: 2001年02月19日
公開日(公表日): 2002年07月05日
要約:
【要約】【課題】 熱時接着強度を低下させないで、硬化物の低弾性率化を計ることにより、IC等の大型チップと銅フレーム等の組合せでもチップクラックや反りによるIC等の特性不良が起こらず、速硬化でかつボイドの発生のない樹脂ペーストを提供する。【解決手段】 (A)塩素含有量が500ppm以下であり、25°Cでの粘度が5,000[mPa・s]以下のるエポキシ樹脂(a1)と塩素含有量が300ppm以下であり、25°Cでの粘度が1,000[mPa・s]以下のエポキシ基を有する反応性希釈剤(a2)とからなり、その重量比(a1):(a2)が40:60〜90:10である液状エポキシ樹脂、(B)分子内に2個以上の水酸基を有するフェノール化合物、(C)潜在性硬化剤、(D)イミダゾール化合物、(E)無機フィラーを必須成分とするダイアタッチペーストである。また、上記のダイアタッチペーストを用いた半導体装置である。
請求項(抜粋):
(A)塩素含有量が500ppm以下であり、25°Cでの粘度が5,000[mPa・s]以下の一般式(1)で示されるエポキシ樹脂(a1)と塩素含有量が300ppm以下であり、25°Cでの粘度が1,000[mPa・s]以下のエポキシ基を有する反応性希釈剤(a2)とからなり、その重量比(a1):(a2)が40:60〜90:10である液状エポキシ樹脂、(B)分子内に2個以上の水酸基を有するフェノール化合物、(C)潜在性硬化剤、(D)イミダゾール化合物、(E)無機フィラーを必須成分とし、成分(A)100重量部に対して成分(B)が1〜10重量部、成分(C)が0.5〜5重量部、成分(D)が0.5〜10重量部であり、かつ成分(A)、(B)、(C)、(D)の合計100重量部に対して成分(E)が25〜900重量部であることを特徴とするダイアタッチペースト。【化1】
IPC (4件):
C08G 59/62
, C08G 59/32
, H01L 21/52
, C09J163/00
FI (4件):
C08G 59/62
, C08G 59/32
, H01L 21/52 E
, C09J163/00
Fターム (34件):
4J036AC14
, 4J036AH02
, 4J036AJ17
, 4J036BA06
, 4J036BA07
, 4J036DA01
, 4J036DC35
, 4J036DC41
, 4J036FA02
, 4J036FA05
, 4J036FB07
, 4J036JA07
, 4J040EB042
, 4J040EB062
, 4J040EC281
, 4J040HA066
, 4J040HA306
, 4J040HB38
, 4J040HB44
, 4J040HC15
, 4J040HC16
, 4J040HC22
, 4J040JA05
, 4J040KA16
, 4J040KA24
, 4J040KA42
, 4J040LA06
, 4J040MA04
, 4J040NA20
, 4J040PA30
, 5F047AA11
, 5F047BA23
, 5F047BA34
, 5F047BA53
引用特許: