特許

J-GLOBAL ID：200903094794971773

超音波変換器のアレイ

発明者： マライケ カタリーネ クレー ,  ティルマン ウルリヒ シュレンカー ,  オラフ ダナッペル ,  ハンス ペーター レーブル ,  ゲオルク シュミッツ ,  ジョン ダグラス フレイザー
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-098761
公開番号（公開出願番号）：特開2007-195248
出願日： 2007年04月04日
公開日（公表日）： 2007年08月02日
要約：

【課題】本発明は、高い圧電結合係数kの圧電層を有する改善された超音波変換器を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、基板(1)と、膜(2)と、第1の電極(4)と、圧電層(5)と、第2の電極(6)とを夫々有する超音波変換器のアレイに関わり、基板(1)は、膜(2)と一つの側において隣り合う少なくとも一つの開口部(3)を有し、圧電層(5)は高い圧電結合係数kを有しテクスチャされている。本発明は、超音波変換器、及び、超音波変換器のアレイを製造する方法に更に関わる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、膜と、第1の電極と、圧電層と、第2の電極とを夫々有し、上記基板が、上記膜と一つの側において隣り合う少なくとも一つの開口部を有する超音波変換器のアレイであって、上記圧電層がテクスチャ構造の層である超音波変換器のアレイ。

IPC (1件)：

H04R 17/00

FI (2件)：

H04R17/00 332B ,  H04R17/00 330H

Fターム (3件)：

5D019BB02 ,  5D019BB17 ,  5D019FF04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 米国特許第5,956,292号明細書
  

審査官引用 (5件)

• 誘電体薄膜素子用電極およびその製造方法とそれを用いた超音波振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-007034   出願人：三菱電機株式会社
• 超音波振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-058097   出願人：住友電気工業株式会社
• 薄膜圧電素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-139997   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 圧電体素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-043089   出願人：三菱電機株式会社
• 特開平3-274899