特許
J-GLOBAL ID：200903095141661724
Bi系強誘電体薄膜形成用塗布液およびこれを用いたBi系強誘電体薄膜の形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 洋子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-192506
公開番号（公開出願番号）：特開2004-339057
出願日： 2004年06月30日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：
【課題】 有機成分の分解温度が低く、短時間で無機化が可能で、かつ、分解後の重量減少率が小さいBLTO型のBi系強誘電体薄膜形成用塗布液、およびこれを用いたBi系強誘電体薄膜形成方法を提供する。【解決手段】 次式:La1-xBi4-yTi3O12+α(式中、x、y、αは、0以上1未満の数)で表されるBi層状化合物を含有する薄膜を形成するための塗布液であって、該塗布液が、(i)La、Bi、Tiのうちの2種以上の金属に対応する金属アルコキシドが複合金属アルコキシドを形成してなる有機金属化合物を含有するBi系強誘電体薄膜形成用塗布液、または(ii)La、Bi、Tiを含む有機金属化合物と、トリグリム、テトラグリム、ジピバロイルメタン、ピナコール、ピバル酸、ヘキシレングリコール等に代表される特定の化合物を含有するBi系強誘電体薄膜形成用塗布液であり、および、これら塗布液を用いたBi系強誘電体薄膜の形成方法。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
下記一般式(1)
La1-xBi4-yTi3O12+α (1)
(式中、x、y、αは、それぞれ独立に0以上1未満の数を表す)
で表されるBi層状化合物を含有する薄膜を形成するための塗布液であって、該塗布液が、La、Bi、Tiのうちの少なくとも2種の金属に対応する金属アルコキシドが複合金属アルコキシドを形成してなる有機金属化合物を含有する、Bi系強誘電体薄膜形成用塗布液。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
4G048AA03
, 4G048AB02
, 4G048AC02
, 4G048AD02
, 4G048AE08
, 5G303AA07
, 5G303AB20
, 5G303BA03
, 5G303CA01
, 5G303CB05
, 5G303CB15
, 5G303CB35
, 5G303DA02
, 5G303DA05
出願人引用 (2件)
審査官引用 (8件)
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