特許
J-GLOBAL ID：200903095220758628
感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-140335
公開番号（公開出願番号）：特開平9-325484
出願日： 1996年06月03日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：
【要約】【課題】従来手法よりも高感度、高密着でかつ、現像を過剰に行なってもオーバーハング形状(逆テーパー形状)にならないパターンを形成することができる感光性組成物を提供すること。【解決手段】樹脂、光酸発生剤、架橋剤および溶剤からなる感光性組成物において、前記樹脂の主成分が、アルコール系水酸基および/またはカルボン酸基を有する共重合体からなることを特徴とする感光性組成物を提供する。また、前記共重合体の、アルコール系水酸基および/またはカルボン酸基を有する単量体の重量比が、5〜50wt%であること、前記共重合体の分子量が、3000〜150000であることを特徴とする感光性組成物を提供する。
請求項（抜粋）：
樹脂、光酸発生剤、架橋剤および溶剤からなる感光性組成物において、前記樹脂の主成分が、アルコール系水酸基および/またはカルボン酸基を有する共重合体からなることを特徴とする感光性組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/033
, G03F 7/004 503
, G03F 7/029
, G03F 7/038
G03F 7/033
, G03F 7/004 503
, G03F 7/029
, G03F 7/038
