フレームクランプ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-143888
公開番号（公開出願番号）：特開2008-300556
出願日： 2007年05月30日
公開日（公表日）： 2008年12月11日
要約：

【課題】ダイシング装置に専用スペースや特別な構造変更を要することなく、かつ、ワークによる制約を受けることなく、ワークを保持したままドレッシング作業等を実行できるようにする。【解決手段】フレームクランプ20が、フレーム押部24の上面にドレス部材25を備えるので、ダイシングテープ3でワーク2を保持した環状フレーム5を通常通りチャックテーブル16に装着してクランプさせればよく、フレーム押部24の上面の空きスペースを利用しているため、ダイシング装置に専用スペースや特別な構造変更を要することなく、必要時にドレス部材25を用いたドレッシング作業を実行でき、また、ドレス部材25は、チャックテーブル16の外周に配設されたフレームクランプ20のフレーム押部24の上面に配設されており、ワーク2の大きさによる制約を受けないとともに、ドレス部材25を装着したままワーク2の交換作業を行うこともできるようにした。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

チャックテーブルの外周に配設されるフレームクランプであって、少なくともフレーム押部を有し、前記フレーム押部の上面にダイシング用補助部材を備えることを特徴とするフレームクランプ。

IPC (2件)：

H01L 21/301 , B24B 53/12

FI (2件)：

H01L21/78 F , B24B53/12 A

Fターム (3件)：

3C047AA16 , 3C047AA32 , 3C047EE04

引用特許：

出願人引用 (6件)

ダイシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-007929 出願人：株式会社東京精密
切削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-210719 出願人：株式会社ディスコ
ダイシング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-080360 出願人：株式会社東京精密

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審査官引用 (4件)

特開昭62-268611
ダイシングドレステーブル構造及びダイサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-352874 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開平2-031444

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