ポジ型感光性樹脂組成物、該ポジ型感光性樹脂組成物を用いた半導体装置及び表示素子、並びに半導体装置及び表示素子の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-025870
公開番号（公開出願番号）：特開2005-250462
出願日： 2005年02月02日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：

【課題】高感度で、かつ高解像度であるポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜50重量部及び一般式(1)で示される構造を有するフェノール化合物(C)1〜30重量部を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物であり、膜減りが少なく、パターン形状の崩れがなく、更に露光部の感光性樹脂組成物の残り(スカム)がない特性を有する高感度で、かつ高解像度という優れた特徴を有している。【化42】

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂(A)、感光性ジアゾキノン化合物(B)及び一般式(1)で示される構造を有するフェノール化合物(C)を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F7/004 , G03F7/023 , G03F7/037 , H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/004 501 , G03F7/023 , G03F7/037 , H01L21/30 502R

Fターム (14件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA10 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CB33 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H025FA29

引用特許：

出願人引用 (13件)

特公平1-46862号公報
特開平3-200251号公報
特開平3-200252号公報

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審査官引用 (6件)

ポジ型ホトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-283579 出願人：東京応化工業株式会社
特開昭58-080636
特開昭57-118237

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