コンタクトプローブおよびそれを備えたプローブ装置並びにコンタクトプローブの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-349119
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185951
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】面配置端子に対応でき、オーバードライブ時にコンタクトピンが撓む向きが同じで隣同士が誤接触しないプローブ装置を提供する。【解決手段】複数のパターン配線3がフィルム2上に形成されこれらのパターン配線3の各先端が前記フィルム2から突出状態に配されてコンタクトピン3aとされる複数のコンタクトプローブ1を、それらのコンタクトピン3aの軸線が測定対象物Pの接触面Paに対して略垂直となるように配設し、且つそれらのフィルム2の各面間に間隔を設けて並設した。

請求項（抜粋）：

複数のパターン配線(3)がフィルム(2)上に形成されこれらのパターン配線(3)の各先端が前記フィルム(2)から突出状態に配されてコンタクトピン(3a)とされる複数のコンタクトプローブ(1)を、それらのコンタクトピン(3a)の軸線が測定対象物(P)の接触面(Pa)に対して略垂直となるように配設し、且つそれらのフィルム(2)の各面間に間隔を設けて並設したことを特徴とするプローブ装置。

IPC (2件)：

G01R 1/073 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 1/073 D , H01L 21/66 B

引用特許：

審査官引用 (6件)

プローブカード
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-127843 出願人：フレッシュクエストコーポレーション, イノテック株式会社
特開平1-295185
プローブカード
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-131223 出願人：東邦電子株式会社

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