ファブリペローフィルタ

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-011139
公開番号（公開出願番号）：特開2003-215473
出願日： 2002年01月21日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：

【要約】【課題】可動鏡に反りが発生せず光学的活性領域が広く、可動鏡の傾きを容易に制御することができ、製造の容易なファブリペローフィルタを提供すること。【解決手段】固定鏡と可動鏡とを有するファブリペローフィルタにおいて、固定鏡が形成される固定基板と、固定基板にら固定鏡の近傍に達するように設けられた溝に設置される入射用光ファイバと、固定基板にスペーサを介して接続される可動基板と、可動基板が方形溝状にエッチングされて薄肉に形成される導電性を有するダイアフラムと、可動基板のダイアフラムに囲まれる位置に厚肉に形成されると共に可動鏡が形成される突起部と、固定鏡上に形成されダイアフラムに対向配置される固定電極、とを有し、固定電極とダイアフラムとの間に駆動電圧を印加して発生する静電力により可動基板を駆動してギャップを可変としたことを特徴とするファブリペローフィルタ。

請求項（抜粋）：

固定鏡とこの固定鏡に大きさ可変のギャップを有して対向配置される可動鏡とを有し、前記ギャップに対応する任意所望の波長の光を選択して透過させるファブリペローフィルタにおいて、前記固定鏡が一方の面に形成される固定基板と、前記固定基板の他方の面から前記固定鏡の近傍に達するように設けられた溝に設置される入射用光ファイバと、前記固定基板にスペーサを介して接続される可動基板と、前記可動基板の前記固定基板に対向しない面が方形溝状にエッチングされて薄肉に形成される導電性を有するダイアフラムと、前記可動基板の前記ダイアフラムに囲まれる位置に厚肉に形成されると共に前記可動鏡が形成される突起部と、前記固定鏡上に形成され前記ダイアフラムに対向配置される固定電極、とを有し、前記固定電極と前記ダイアフラムとの間に駆動電圧を印加して発生する静電力により前記可動基板を駆動して前記ギャップを可変としたことを特徴とするファブリペローフィルタ。

IPC (2件)：

G02B 26/00 , G02B 5/28

FI (2件)：

G02B 26/00 , G02B 5/28

Fターム (9件)：

2H041AA21 , 2H041AB10 , 2H041AB15 , 2H041AC06 , 2H041AZ06 , 2H041AZ08 , 2H048GA13 , 2H048GA24 , 2H048GA51

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平2-257676
光共振器とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-035741 出願人：矢崎総業株式会社
力測定変換器
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-117200 出願人：ヴァイサラテクノロジーズインコーポレイテッドオイ

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