真空チャックおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井大和 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-164440
公開番号（公開出願番号）：特開2001-341042
出願日： 2000年06月01日
公開日（公表日）： 2001年12月11日
要約：

【要約】【課題】真空チャックの耐久性を向上し、吸着されたワークが変形しないようにしてワークを高精度で加工したり処理することができるようにする。【解決手段】真空チャックは多孔質の吸着体20と非多孔質の封止体30とを有し、吸着体20は無機質材料性の粉粒体からなる骨材および前記骨材相互を結合する結合材とを焼結して形成される。封止体30は吸着体20の骨材と同種の粉粒体を含み、吸着面21に連なる平坦面を有するとともに吸着体20の外周面22を覆い吸着体20の気孔を封じる。吸着体20に連通する真空案内路から真空を供給することによって、ワークWは吸着面21で真空吸着される。封止体30は粉粒体相互間に充填され、粉粒体よりも硬度が低い充填材を有している。

請求項（抜粋）：

無機質材料性の粉粒体からなる骨材および前記骨材相互を結合する結合材とを焼結して形成され、吸着面および前記吸着面の周辺から厚み方向に延びる周面を有する多孔質の吸着体と、前記吸着面に連なる平坦面を有するとともに前記吸着体の前記周面を覆い前記吸着体の気孔を封じる非多孔質の封止体と、前記吸着体に連通する真空案内路とを有し、前記吸着面および前記平坦面に接触するように配置されたワークを前記吸着面で真空吸着させるようにしたことを特徴とする真空チャック。

Fターム (5件)：

3C016AA01 , 3C016BA02 , 3C016CE05 , 3C016DA05 , 3C016DA13

引用特許：

審査官引用 (7件)

真空チャックの吸着板及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-031680 出願人：シーケーディ株式会社
特許第2736900号
真空吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-315078 出願人：京セラ株式会社, 株式会社ディスコ

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