特許
J-GLOBAL ID：200903095763410621
電子線装置及び該装置を用いたデバイス製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
社本 一夫
, 千葉 昭男
, 星野 修
, 神田 藤博
, 内田 博
, 宮前 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-091514
公開番号（公開出願番号）：特開2006-277996
出願日： 2005年03月28日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：
【課題】 静電レンズと試料との間の放電を防止し、かつ高い電圧を印加可能で、さらに、対物レンズの軸上色収差の絶対値と軸上色収差補正レンズの軸上色収差の絶対値とが等しくなるように調整可能なパラメータを持つ対物レンズを提供する。【解決手段】 電子線装置であって、電子線の焦点を合わせて試料に照射する対物レンズを備え、対物レンズは、試料側に向うほど半径が小さくなる、少なくとも1つの円錐形状の電極と、軸対称電極とを有し、軸対称電極は、前記円錐形状の電極より試料側に配置されたほぼ接地の電極であり、試料面での電界強度を小さくする位置に配置され、さらに、負の軸上色収差を生じる多極子レンズと、電圧制御装置とを備え、電圧制御装置が軸対称電極の電圧を調整して、もしくは軸対称電極の電圧と少なくとも1つの円錐形状の電極の電圧との双方を調整して、対物レンズの軸上色収差の絶対値を多極子レンズの軸上色収差の絶対値と等しくする。【選択図】図1-a
請求項（抜粋）：
負電圧が印加された試料に電子線を照射し、試料から放出される二次電子を対物レンズと試料とが作る電界で加速し、少なくとも電磁偏向器を有する電子線分離器で前記二次電子線を検出器方向に向かわせる、電子線装置であって、
前記電子線装置は、電子線の焦点を合わせて試料に照射する対物レンズを備え、
前記対物レンズは、試料側に向うほど半径が小さくなる、少なくとも1つの円錐形状の電極と、軸対称電極とを有し、
前記軸対称電極は、前記円錐形状の電極より試料側に配置されたほぼ接地の電極であり、試料面での電界強度を小さくする位置に配置されることを特徴とする、電子線装置。
IPC (5件)：
H01J 37/29
, G01N 23/225
, H01J 37/145
, H01J 37/28
, H01L 21/66
H01J37/29
, G01N23/225
, H01J37/145
, H01J37/28 B
, H01L21/66 J
2G001AA03
, 2G001BA07
, 2G001CA03
, 2G001EA09
, 2G001GA01
, 2G001GA06
, 2G001HA09
, 2G001HA13
, 2G001KA03
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA02
, 4M106CA39
, 4M106DB05
, 4M106DB12
, 5C033UU02
