特許
J-GLOBAL ID：200903096686362526
電子顕微鏡システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-285165
公開番号（公開出願番号）：特開2004-165146
出願日： 2003年08月01日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：
【課題】選択装置およびビームスプリッタの機能性を組み合わせることによって、構成要素を減じ、1次電子ビームおよび2次電子ビームの両方のビーム路を短くする。スプリッタで重なる他方のビームは、偏向角度を低減することによって分散を低減する。【解決手段】電子源51からの1次電子ビーム11をビームスプリッタ21へ誘導し、物体平面7へ誘導する。2次電子ビーム13をビームスプリッタ21の方へ誘導し、運動エネルギーが所定のエネルギー範囲内にある荷電粒子のみ、エネルギー選択装置27を構成する磁極構成体29、30、31、32を介して伝達する。 ビームスプリッタ21はエネルギー選択装置27の少なくとも1つの磁極対を含む。電子源51によって放射された後の1次電子ビーム11の方向と、ビームスプリッタ21から出射するときの1次電子ビーム11の方向との間の角度は、80度未満、特に60度未満とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
物体平面(7)に位置付け可能な物体(3)を検査するための電子顕微鏡システムであって、
1次電子ビームのビーム路を2次電子ビーム(13)のビーム路から分離するためのビームスプリッタ(21)と、
前記1次電子ビーム(11)を生成するための電子源(51)と、
前記電子源(51)からの前記1次電子ビーム(11)を前記ビームスプリッタ(21)へ誘導するためのビーム誘導システム(59)と、
前記1次電子ビーム(11)を前記物体平面(7)へ誘導し、かつ、前記物体平面(7)周辺領域から発散する2次電子を前記2次電子ビーム(13)として前記ビームスプリッタ(21)の方へ誘導するための、前記ビームスプリッタ(21)の下流の前記1次電子ビーム(11)のビーム路に配置された対物レンズ(17)と、
前記2次電子ビーム(13)のビーム路に設けられ、運動エネルギーが所定のエネルギー範囲内にある前記2次電子ビーム(13)の荷電粒子は伝達するが、運動エネルギーが前記所定のエネルギー範囲外である荷電粒子は実質的に伝達しないエネルギー選択装置であって、複数の磁極対(35、37)を有する磁極構成体(29、30、31、32)を含み、エネルギー選択装置によって伝達された荷電粒子を偏向するための磁界(47)が各磁極対間に提供されているエネルギー選択装置(27)とを含む電子顕微鏡システムであって、
前記ビームスプリッタ(21)が前記エネルギー選択装置(27)の少なくとも1つの磁極対(35、37)を含み、前記電子源(51)によって放射された後の前記1次電子ビーム(11)方向と、前記ビームスプリッタ(21)から出射するときの前記1次電子ビーム(11)の方向との間の角度が、80度未満、特に60度未満であることを特徴とする電子顕微鏡システム。
IPC (4件)：
H01J37/05
, H01J37/147
, H01J37/244
, H01J37/28
H01J37/05
, H01J37/147 B
, H01J37/244
, H01J37/28 B
5C033AA03
, 5C033AA05
, 5C033FF01
, 5C033NP04
, 5C033UU02
, 5C033UU04
