特許
J-GLOBAL ID:200903095774234698
三次元電子部品用モジュール、三次元電子部品モジュールおよびそれらの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大石 皓一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-254330
公開番号(公開出願番号):特開2001-077290
出願日: 1999年09月08日
公開日(公表日): 2001年03月23日
要約:
【要約】【課題】 半導体部品の冷却効率を損なうことのない高密度の三次元電子部品用モジュール、三次元電子部品モジュールおよびそれらの製造方法を提供する。【解決手段】 両面に、金属配線5がパターニングされ、金属配線5を貫通する複数のバイアホールおよび/またはスルーホール3が形成された複数の基板4、4a、4bが積層されて、直方体をなし、側面に、金属配線と接続された外部電極8が形成され、側面に形成された外部電極に半導体部品22、23、25が接続された三次元電子部品モジュール20。
請求項(抜粋):
両面に、金属配線がパターニングされ、前記金属配線を貫通する複数のバイアホールおよび/またはスルーホールが形成された複数の基板が積層されて、3以上の平坦な外表面が形成された立体構造体をなし、前記外表面に、前記金属配線と接続された外部電極が形成されたことを特徴とする三次元電子部品用モジュール。
IPC (8件):
H01L 25/00
, H05K 1/09
, H05K 1/11
, H05K 1/14
, H05K 1/18
, H05K 3/34 507
, H05K 3/46
, H05K 3/40
FI (10件):
H01L 25/00 A
, H05K 1/09 C
, H05K 1/11 F
, H05K 1/11 N
, H05K 1/14 F
, H05K 1/18 T
, H05K 3/34 507 C
, H05K 3/46 L
, H05K 3/46 N
, H05K 3/40 K
Fターム (98件):
4E351AA03
, 4E351AA04
, 4E351AA07
, 4E351AA13
, 4E351BB01
, 4E351BB21
, 4E351BB31
, 4E351BB33
, 4E351BB35
, 4E351BB47
, 4E351BB49
, 4E351CC01
, 4E351CC05
, 4E351CC12
, 4E351CC22
, 4E351DD04
, 4E351DD05
, 4E351DD06
, 4E351DD10
, 4E351DD20
, 4E351EE01
, 4E351GG04
, 4E351GG07
, 4E351GG11
, 5E317AA04
, 5E317AA22
, 5E317AA24
, 5E317BB02
, 5E317BB03
, 5E317BB04
, 5E317BB12
, 5E317BB13
, 5E317BB14
, 5E317BB18
, 5E317CC22
, 5E317CC25
, 5E317CC31
, 5E317CC52
, 5E317CD21
, 5E317CD27
, 5E317CD32
, 5E317CD34
, 5E317GG11
, 5E317GG14
, 5E319AA03
, 5E319AC01
, 5E319BB05
, 5E319CC33
, 5E319GG01
, 5E336AA04
, 5E336AA09
, 5E336AA14
, 5E336BB01
, 5E336BB16
, 5E336BB18
, 5E336BC15
, 5E336BC31
, 5E336BC34
, 5E336BC36
, 5E336CC31
, 5E336CC43
, 5E336CC58
, 5E336DD01
, 5E336EE01
, 5E336GG03
, 5E336GG30
, 5E344AA01
, 5E344AA08
, 5E344BB04
, 5E344CD21
, 5E344DD01
, 5E344EE02
, 5E344EE13
, 5E346AA42
, 5E346AA43
, 5E346CC04
, 5E346CC08
, 5E346CC09
, 5E346CC16
, 5E346CC32
, 5E346CC34
, 5E346CC37
, 5E346CC38
, 5E346CC39
, 5E346CC40
, 5E346DD23
, 5E346EE09
, 5E346EE29
, 5E346FF07
, 5E346FF09
, 5E346FF18
, 5E346FF19
, 5E346GG09
, 5E346GG17
, 5E346GG22
, 5E346GG28
, 5E346HH07
, 5E346HH31
引用特許:
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