特許
J-GLOBAL ID：200903095876260561
無機膜基板とその製造方法、圧電素子、インクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-314261
公開番号（公開出願番号）：特開2007-123583
出願日： 2005年10月28日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：
【課題】無機膜の材料や厚みに関わらず、機械的に分離された複数の部分からなる無機膜を高精度にしかも簡易なプロセスで形成することが可能な膜分離化技術を提供する。【解決手段】無機膜基板1は、表面に凹凸パターンを有する表面凹凸基板10を用意し、次いで、表面凹凸基板10の表面形状に沿って、表面凹凸基板10の基板面に対して非平行方向に延びる多数の柱状構造体からなる無機膜30を成膜して、製造されたものである。無機膜30は、表面凹凸基板10の凸部12上に位置する凸部上部分31と、表面凹凸基板10の凹部13上に位置する凹部上部分32とが互いに機械的に分離された構造を有する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
表面に凹凸パターンを有する表面凹凸基板を用意し、
次いで、該表面凹凸基板の表面形状に沿って、該表面凹凸基板の基板面に対して非平行方向に延びる多数の柱状構造体からなる無機膜を成膜して、製造されたものであることを特徴とする無機膜基板。
IPC (7件)：
H01L 41/09
, H01L 41/22
, H01L 41/187
, H01L 41/18
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H02N 2/00
H01L41/08 C
, H01L41/08 J
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101C
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101J
, H01L41/18 101Z
, B41J3/04 103A
, H02N2/00 B
2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG41
, 2C057AG42
, 2C057AG44
, 2C057BA03
, 2C057BA14
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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